硬件配置:

1．射頻發(fā)生器：

◆電路類型：電感反饋式自激振蕩電路、同軸電纜輸出、匹配調(diào)諧、取功率反饋進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制。

◆工作頻率：40MHZ

◆頻率穩(wěn)定性：＜0.1%

◆輸出功率：800-1200W

◆輸出功率穩(wěn)定性：＜0.5%

◆電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度：距機(jī)身30cm 電場(chǎng)強(qiáng)度E: ＜2V/m 磁場(chǎng)強(qiáng)度: ＜0.2A/m

◆電源：220V 25A

2．氣路進(jìn)樣系統(tǒng)：

◆輸出工作線圈內(nèi)徑25mm,3匝,

◆配三同心外徑20mm的石英炬管

◆同軸型噴霧器外徑6mm

◆雙筒形霧室外徑35mm

◆氬氣流計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格

◆等離子氣流量計(jì)（100-1000）L/h ② 輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h

◆載氣流量計(jì)（10-100）L/h ④ 載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）

3．掃描分光器：

◆光路：Czerny Turner型

◆焦距：750mm/1000mm

◆光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵,刻線密度3600線/mm或2400線/mm,刻線面積（80×110）mm

◆分辯率：0.008nm

◆掃描波長(zhǎng)范圍：3600線/mm掃描波長(zhǎng)范圍：195-500nm

2400線/mm掃描波長(zhǎng)范圍：195-800nm

◆步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)zui小步距：0.0006nm

◆反射鏡規(guī)格：（78×105×16）mm

◆透鏡Φ30,1:1成像

4．檢測(cè)系統(tǒng)：

◆光電倍增管規(guī)格：R212UH,R928

◆光電倍增管負(fù)高壓：（200-1000）V,穩(wěn)定性＜0.05%

◆光電倍增管電流測(cè)量范圍：10-12～10-4A