動化儀器儀表、機械設備、電子產品、產品功能
對各種產品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形輪廓、共面性、表面缺陷、研磨情況、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工形貌特征等進行測量和分析。標準型號的系統(tǒng)要求被測物體尺寸通常不大于150*100*100mm，更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨。工作臺zui大承載重量10Kg。
應用范圍
* 汽車工業(yè)、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導體加工、MEMS、醫(yī)療行業(yè)等。
* 機械部件的平面度、形貌特征和輪廓測量，用來確定其表面的變化情況和材料損耗；
* 電子材料表面的平面度、翹曲度和粗糙度分析；
* 薄膜的厚度及涂層的高度測量等；
* BGA焊料球的共面性，封裝是否變形以及所有焊料球是否存在的檢查和分析；
* 化學蝕刻產品的測量，確定蝕刻深度和面積；
* 壓花材料平面特征分析，如合成材料皮革表面形狀測量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產品和生物科研等；
* 對軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；
* 法醫(yī)學上三維表面測量分析；
* 壓電陶瓷裝置的輪廓和表面測量；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫(yī)學上的應用，如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度和輪廓測量分析。
產品介紹
英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產的表面粗糙度輪廓測量儀Proscan 2100配有推力直線電機，提高了掃描速度和運行的平滑度，由于采用非接觸的測量方式，線性電機可以避免驅動裝置的噪聲和振動對測量結果的影響。
Proscan 2100還配有實時機械控制軟件和Invar線性標尺（熱脹冷縮系數(shù)非常低），分辨率為20nm，可掃描的zui小數(shù)據(jù)點間隔為0.1微米。
Proscan 2100以花崗巖為支架，是快速、精準、非接觸式的三維表面測量儀器。廣泛應用各種表面輪廓和形貌特征的精確測量和分析。高性能非接觸式光學傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），對被測件平面的掃描zui多可達八百萬個數(shù)據(jù)點。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進行分析。
Proscan 2100配有多種可更換式非接觸光學傳感器，用于垂直軸方向的粗糙度測量，測量范圍是0-150μm-270mm。
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| Proscan 2100掃描儀 | Proscan全套系統(tǒng) | Proscan 2100掃描頭 |
工作原理：光學色差傳感器技術
通過光纖電纜，將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃?。傳感器頭部配有特制的透鏡，通過色差成像技術，將白光轉換為其顏色分量，在被測物體表面上形成的光斑，再經由傳感器返回到光譜分析儀。通過測量對焦點的波長，就可精確的測量出距離的大小。這是因為透鏡按照不同的距離聚焦不同的顏色，而在整個測量范圍內，斑點的直徑保持不變的原理。
產品特點
* 花崗巖框架結構，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。
* 使用線性電機和優(yōu)質工作臺，電機與工作臺不相連，減少了噪聲振動對掃描數(shù)據(jù)的影響。
* 電機質量更輕，提高了運動工作臺的平滑度和平靜度。
* 測量速度快，每秒可達1000個數(shù)據(jù)點，分辨率達5nm。
* 傳感器采用可更換式設計，方便各種粗糙高度材料的測量。
* 非接觸式測量，不對被測物體造成劃痕磨損，更加適用于對腐蝕性材料的測量。
* 掃描范圍為150*100mm，適用于對各種尺寸產品的輪廓測量，安裝簡單。
* 矩陣式掃描方式，可對物體某個部位進行單獨掃描，亦可對不規(guī)則形狀進行測量。
* 功能強大的配套軟件，適用范圍廣，操作簡單，方便對各種掃描數(shù)據(jù)進行分析。
* 使用ProForm軟件，可對材料磨損前和磨損后的輪廓差異情況進行診斷和分析。
軟件特點
顯示特點
- 彩色三維或二維畫面顯示
- 平面式視圖
- 自動或手動標注刻度
- 視圖方向可隨意旋轉
矩陣式掃描
- 對單個部件進行多行掃描
- 對安裝在夾具上的多個部件進行自動掃描
- 自動生成掃描結果報告
保存、回取、導出和打印
- 從硬盤中上傳已保存的掃描數(shù)據(jù)
- 對兩個掃描結果進行比較，顯示其差別
- 導出ASCII格式數(shù)據(jù)，ZZZZ...LF & XYZLF...CR'a'或Matlab格式數(shù)據(jù)
- 彩色三維位圖
- 通過Windows打印管理器進行打印
評定參數(shù)
Am 輪廓算術平均值
Ra 粗糙度中心線平均值
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 十點高度
Rmax 峰谷高低zui大值
Rp 峰值高度平均值
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度zui大值
Rvm 谷值深度zui大值
R3z 第三峰谷高低平均值
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計數(shù)歸一
Tpi 承載比
Tpa 材質比（宏）
D 峰值密度
S 峰值輪廓間隔平均值
Sm 峰值就地間隔平均值
數(shù)據(jù)設定
- X、Y和Z三維視圖設定
- 二維X、Y平面視圖設定
- 用戶自定義三點平面修正
- 自動平面修正
- 掃面圖形可*旋轉
- 共面性的計算
結果過濾
Warpage過濾器（可選）可清除表面粗糙情況，只保留輪廓。
Surface過濾器（可選）可清除表面輪廓，只保留粗糙情況。
形態(tài)測量
- 弧面的半徑計算
- 體積計算
- 表面積計算
- 截面積計算
- 臺階高度測量
- 角度計算
其他
- X、Y單獨掃描或X&Y同時掃描
- X軸zui大掃描點數(shù)：30000
- Y軸zui大掃描點數(shù)：30000
- X&Y軸掃描zui大點數(shù)：800萬
- X軸增量范圍：1μm-9.999mm
- Y軸增量范圍：1μm-9.999mm
Proscan 2100主顯屏幕
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| BGA球柵陣列表面掃描圖 | 機械密封平面度掃描圖 |
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| 表面粗糙度掃描圖 | 薄膜材料表面形態(tài)掃描圖 |
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| 孔端面的平面度掃描圖 | 截面二維輪廓圖 |
技術規(guī)范
X軸（長）
- 掃描的長度范圍150mm
- 線性編碼器分辨率：20nm
- 數(shù)據(jù)點間隔zui小增量：0.1μm
- 導軌：精密交叉式輥軸
- 線性度：25mm行程范圍內0.5μm
- 定位精度：40nm
- zui大負載：5kg
- 線性電機：*非接觸式驅動
Y軸（寬）
- 掃描的寬度范圍100mm
- 線性編碼器分辨率：20nm
- 數(shù)據(jù)點間隔zui小增量：0.1μm
- 導軌：精密交叉式輥軸
- 線性度：25mm行程范圍內0.5μm
- 定位精度：40nm
- zui大負載：4kg
- 線性電機：*非接觸式驅動
Z軸（高）
- 150mm行程
- 絲杠電機驅動
- 根據(jù)被測物體大小，手動定位傳感器的高度
產品尺寸
- 尺寸：740*542*838mm （長*寬*高），重量：79kg
電源
100-110/220或240VAC，50/60Hz
傳感器選型方案
| 傳感器 型號 | 粗糙度 測量范圍 | 與被測物體的間距 mm | 分辨率 | 線性度 （%+/-量程） | 技術 原理 |
| S3/011 | 110 μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S11/03 | 300 μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S16/2.5 | 2.5 mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S29/10 | 10 mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S20/20 | 20 mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | CCD三角測量技術 |
| L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | CCD三角測量技術 |
| L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | CCD三角測量技術 |
| L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | CCD三角測量技術 |
各種可選項
* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；
* 花崗巖橫梁，用于Proscan安裝；
* 其他各種傳感器；
* 仿制材料，用于對不容易進入的區(qū)域或對表面測量有困難的產品的表面特征復制；
* 比標準配置中的X和Y測量范圍更大的應用平臺。
視頻演示
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表面粗糙度輪廓儀.pdf0
