產(chǎn)品特點(diǎn)
四探針測(cè)試儀是根據(jù)單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測(cè)試儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用旋扭式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)技術(shù),使得測(cè)量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測(cè)量精度高、測(cè)試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
測(cè)量范圍 電阻率/Range:10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 電阻/resistance:10-6—105Ω
可測(cè)晶片直徑(zui大) φ100mm(標(biāo)配),方形230×220mm(zui大)
zui大電阻測(cè)量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機(jī):約4kg 測(cè)試臺(tái):約5kg
測(cè)試環(huán)境 溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%; 無高頻干擾 無強(qiáng)光照射
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
備注 具備電腦接口
探頭
Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術(shù)指標(biāo)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。
間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤1.0%;
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
產(chǎn)品特點(diǎn)
四探針測(cè)試儀是根據(jù)單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測(cè)試儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用旋扭式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)技術(shù),使得測(cè)量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測(cè)量精度高、測(cè)試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
測(cè)量范圍 電阻率/Range:10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 電阻/resistance:10-6—105Ω
可測(cè)晶片直徑(zui大) φ100mm(標(biāo)配),方形230×220mm(zui大)
zui大電阻測(cè)量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機(jī):約4kg 測(cè)試臺(tái):約5kg
測(cè)試環(huán)境 溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%; 無高頻干擾 無強(qiáng)光照射
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
備注 具備電腦接口
探頭
Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術(shù)指標(biāo)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。
間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤1.0%;
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
數(shù)字式四探針測(cè)試計(jì) 型號(hào):CN61M/1934B
產(chǎn)品特點(diǎn)
儀器由主機(jī)、測(cè)試探頭(可選配測(cè)試臺(tái))等部分組成,測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由數(shù)控恒流源,高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。測(cè)試探頭高分子材料和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長(zhǎng)。儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測(cè)量簡(jiǎn)便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。(自動(dòng)調(diào)零
測(cè)量范圍 電阻率:10-2~102Ω-cm;方塊電阻:10-1~103Ω/□;電阻:10-3~9999Ω
可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸 直徑:Φ15~100mm; 長(zhǎng)(或高)度: ≤400mm
電源
功 耗:<1W; 電源適配器:輸入:220V±10% 50Hz; 輸出:DC5V±10%
外形尺寸 主機(jī) 170mm(D)×130 mm(W)×50mm(H)