氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)（以下稱MFC/MFM）通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計(jì)算流量，這種測量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。本產(chǎn)品可以同時(shí)測量4種參數(shù)：氣體的瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓，并且可以同時(shí)顯示和輸出。
雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補(bǔ)償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量,但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷：*加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移,反應(yīng)速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的,而采用差壓原理的MFC/MFM幾乎無零點(diǎn)和溫度漂移,反應(yīng)速度快,無需預(yù)熱,上電即可操作,解決了*困擾客戶的問題。目前，一些的熱式流量計(jì)廠家正在紛紛開發(fā)差壓式質(zhì)量流量計(jì)。
Sailsors研發(fā)和生產(chǎn)差壓式質(zhì)量流量產(chǎn)品已有十余年的歷史，廣泛應(yīng)用于各類需精確檢測和控制氣體流量的設(shè)備上。本資料中的V10FC系列是Sailsors根據(jù)市場需求推出的以高精度和多功能為特色的普及型產(chǎn)品。
雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補(bǔ)償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量,但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷：*加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移,反應(yīng)速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的,而采用差壓原理的MFC/MFM幾乎無零點(diǎn)和溫度漂移,反應(yīng)速度快,無需預(yù)熱,上電即可操作,解決了*困擾客戶的問題。目前，一些的熱式流量計(jì)廠家正在紛紛開發(fā)差壓式質(zhì)量流量計(jì)。
Sailsors研發(fā)和生產(chǎn)差壓式質(zhì)量流量產(chǎn)品已有十余年的歷史，廣泛應(yīng)用于各類需精確檢測和控制氣體流量的設(shè)備上。本資料中的V10FC系列是Sailsors根據(jù)市場需求推出的以高精度和多功能為特色的普及型產(chǎn)品。
差壓式與熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理性能對照表
| 指標(biāo) | V10FC差壓式原理 | 傳統(tǒng)熱式原理 |
| 傳感器 | 溫度、壓力、差壓三支傳感器 | RTD或熱電偶 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | MFM:10毫秒 MFC:100毫秒 | 0.8～10秒 |
| 顯示屏 | 標(biāo)準(zhǔn) 內(nèi)置 | 外部二次儀表 |
| 預(yù)熱 | 無需預(yù)熱 | 15～30分鐘 |
| 熱漂移 | 無 | 有 |
| 累計(jì)流量 | 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置,不限顯示位數(shù) | 外部二次表,限位數(shù)顯示 |
| 輸出信號(hào) | 質(zhì)量流量、體積流量、溫度、壓力 | 質(zhì)量流量 |
| 轉(zhuǎn)換系數(shù) | 無需轉(zhuǎn)換系數(shù)直接得出質(zhì)量流量 | 引用進(jìn)口產(chǎn)品氣體轉(zhuǎn)換系數(shù) |
| 氣體測量 | 測量空氣氮?dú)庖酝獾臍怏w時(shí)，轉(zhuǎn)換系數(shù)準(zhǔn)確 | 測量空氣氮?dú)庖酝獾臍怏w時(shí)，轉(zhuǎn)換系數(shù)不準(zhǔn)確 |
| 精度 | ±0.8%讀數(shù),±0.4%可選 | ±1～2%F.S |
| *穩(wěn)定性 | ±0.1%F.S/年 | 無明確指標(biāo) |
